Blog

Cleanrooms voor de fabricage van kwantumchips: wat de omgeving moet leveren

4 augustus 2026
3 minuten lezen
ABN Cleanroom Technology levert hoogwaardige cleanroom-integratie voor de chipmachine van imec van de volgende generatie

Waarom een kwantumlaboratorium meer nodig heeft dan een standaard cleanroom

Quantum hardware faalt wanneer de omgeving faalt. Een enkele sub-micron deeltje, een trilling, een temperatuursverandering van één graad of een spoor van elektromagnetische interferentie kan ervoor zorgen dat een qubit zijn kwantumtoestand verliest. Dit cleanroom is onderdeel van het systeem.

Kritische milieuvereisten

Deeltjeszuiverheid

De fabricage van kwantumchips vereist ISO 5 of ISO 6, aanzienlijk strenger dan ISO 7 of ISO 8 die worden gebruikt bij conventionele halfgeleiderproductie. Kwantumcircuits worden op nanometer-schaal gemaakt, waarbij een enkele submicronen deeltje een defect veroorzaakt dat warmte of magnetisch lawaai in de processor brengt.

Naast zichtbare deeltjes is de luchtverontreiniging door moleculaire stoffen (AMC) even belangrijk. Sporen van organische dampen of vocht hechten zich aan de oppervlakken van kwantumcomponenten en leiden direct tot een slechte prestatie van de hardware. AMC kan niet alleen worden bestreden door het reinigen. Het moet worden voorkomen door:

  • Materieelselectie en controle van de uitgasvorming
  • Gevalidiseerde unidirectionele luchtstroompatronen
  • Strikt chemisch beheer binnen de cleanroom


Temperatuurstabiliteit

De temperatuur moet gedurende 24 uur binnen ±1°C blijven, en vaak nog verder. Schommelingen leiden tot dimensionale veranderingen in de signaleringsstructuren, waardoor faseverschillen ontstaan die de qubit-bewerkingen verstoren.

Het HVAC-systeem moet warmtebelastingen van cryogene apparatuur, personeel en ondersteunende elektronica aan kunnen, zonder temperatuurveranderingen. Dode zones en turbulent luchtstroom zijn in een kwantumlaboratorium geen kleine tekortkomingen, maar wel typische storingen.

Trillingsregeling

De trillingen van de vloer moeten voldoen aan de criteria van VC-A of strenger. Bronnen die in een standaard niet relevant zijn, cleanroom worden hier kritieke risico's:

  • Openbaar vervoer en verkeer op de weg
  • Vibraties van HVAC-ventilatoren
  • Geluid van pompen in cryogene systemen


De vibratiestrategie moet vanaf dag één onderdeel zijn van het ontwerpdocument, inclusief de locatie van de installatie, de specificaties voor de fundering en de mechanische isolatie van alle apparatuur.

Elektromagnetische interferentie

Supergeleidende qubits zijn over het algemeen ontworpen om te werken bij overgangsfrequenties tussen 2 en 10 GHz. Externe elektromagnetische velden van mobiele netwerken, stroomelektronica of nabijgelegen apparatuur koppelen zich rechtstreeks aan de processor en veroorzaken decoherentie. DC- en AC-magnetische velden vormen hetzelfde risico.

EMI-scherming moet voorafgaand aan de bouw worden aangegeven. Het aanbrengen ervan achteraf is duur en zelden volledig.

Vochtigheid

De luchtvochtigheid moet tussen de 30 en 60 procent relatieve luchtvochtigheid blijven. Schommelingen leiden tot condensatie op de cryogene componenten en beïnvloeden de lithografieprestaties tijdens de productie van chips.

Twee omgevingen, één installatie

Een kwantumlaboratorium bevat twee verschillende gecontroleerde omgevingen die moeten samenleven zonder elkaar te beïnvloeden.

  • Fabrieksbouw cleanroom: waar kwantumchips worden gemaakt. Vereist de hoogste deeltjeszuiverheid, AMC-regeling, stabiliteit van temperatuur en vochtigheid en trillingsisolatie. De classificatie moet worden gehandhaafd bij volledige bezetting.

 

  • Integratie- en bedieningsgebied: waar geassembleerde kwantumsystemen worden geïnstalleerd en getest. De QPU wordt geplaatst in de afgesloten vacuümcontainers van de verdunningskoeler, waardoor de kans op deeltjesverontreiniging hier minder groot is. De belangrijkste vereisten zijn trillingsisolatie, EMI-scherming en thermische stabiliteit rondom cryogene systemen. Ook de belasting op de vloer moet worden overwogen, aangezien verdunningskoelers soms meerdere honderden kilogram kunnen wegen.


Beide omgevingen moeten als een gecoördineerd systeem worden ontworpen, niet als afzonderlijke ruimtes.

Wat dit betekent voor de specificatie

De ISO-classificatie op zichzelf is niet voldoende. Deze beschrijft de deeltjesconcentratie. Het geeft niet aan of de ruimte geschikt is voor stabiele qubit-werking.

De specificatie moet beginnen met:

  • Qubit-type en operationele vereisten
  • Fabrieksprocessen en lithografie vereisen
  • Kryogene infrastructuur en warmtebelastingen
  • EMI-gevoeligheidsprofiel van de hardware


Pas dan kunnen de cleanroom parameters correct worden gedefinieerd.

ABN Cleanroom Technology

ABN Cleanroom Technology ontwerpt, onderhoudt en bouwt het bedrijf in cleanrooms heel Europa. Voor kwantumlaboratoria en fabriekshallen voor chipproductie gaat het om veel meer dan een standaard cleanroom brief. Met Configure-to-Order Plus configureert ABN cleanrooms uit vooraf ontworpen en gevalideerde bouwblokken binnen het ADAPTUS platform. Elke parameter, van de reinheid van de deeltjes tot de besturing van trillingen en EMI-scherming, wordt bepaald op basis van de daadwerkelijke procesvereisten voordat de configuratie begint. Het resultaat is een voorspelbaar, volledig geïntegreerd systeem vanaf dag één, in plaats van een eenmalige technische aanpak.

Lise Vandeborne

Geschreven doorLise VandeborneABN Cleanroom Technology

Lees verder

Cleanroom: Algemene gids en belangrijkste feiten
Blog
Cleanroom: Algemene gids en belangrijkste feiten
Cleanroom GMP-kwaliteiten: van A tot en met D
Blog
Cleanroom GMP-kwaliteiten: van A tot en met D
ISO 6 cleanroom: vereisten, deeltjesgrenzen en typische toepassingen
Blog
ISO 6 cleanroom: vereisten, deeltjesgrenzen en typische toepassingen